Titre de la production :Method of fabricating submicron suspended objects and application to the mechanical characterization of said objects
Année de production :2012
Langue de la production :Anglais
Production réalisée au laboratoire :Oui
Domaines scientifiques :SPI:NANO - Micro et nanotechnologies/Microélectronique

1. Vekeman Pierre ( Auteur )
2. Lefebvre Sidonie ( Auteur )
3. Hoc Thierry ( Auteur )
4. Deconninck Pascal ( Auteur )

Numéro de dépôt :N°US-7,754,506 B2
Date de dépôt :13/07/2010
Date de publication :
Etendue géographique de la publication :États-Unis