Titre de la production :Evolution of the mechanical properties of a femtosecond laser modified layer onto a silicon wafer
Année de production :2013
Langue de la production :Anglais
Référence HAL de la production :hal-00985336
Production réalisée au laboratoire :Oui
Domaines scientifiques :PHYS:MECA:MEMA - Mécanique des matériaux
SPI:MAT - Matériaux
SPI:MECA - Mécanique
SPI:OPTI - Optique / photonique
Mots-clés :Femtosecond laser ; Mechanical properties ; Nanoindentation ; Surface treatment

1. Valette Stéphane ( Auteur )
2. Benayoun Stephane ( Auteur )

Nom complet :Applied Surface Science
Nom abrégé :Appl. Surf. Sci.
URL :http://www.elsevier.com/wps/find/journaldescription.cws_home/505669/description
ISSN (version papier) :0169-4332
Comité de lecture :Oui
Référencement Scopus :Oui
Référencement Web Of Science :Oui
Audience :Audience scientifique internationale

Titre de l'article :Evolution of the mechanical properties of a femtosecond laser modified layer onto a silicon wafer
Type de l'extrait :Article
DOI :10.1016/j.apsusc.2013.04.022
Volume :279
Page de début :62
Page de fin :66
Nombre total de pages :5