Titre de la production :Spatial evolution of friction of a textured wafer surface
Année de production :2013
Langue de la production :Anglais
Référence HAL de la production :hal-00971738
Production réalisée au laboratoire :Oui
Domaines scientifiques :SPI:MAT - Matériaux
PHYS:COND:CM_MS - Science des matériaux
CHIM:MATE - Matériaux
Mots-clés :micro-electro-mechanical systems (MEMS) ; patterned wafers ; friction ; transfer wear ; electrical contact resistance

1. Xiao Huaping ( Auteur )
2. Wang Ke ( Auteur )
3. Fox Grant ( Auteur )
4. Belin Michel ( Auteur )
5. Fontaine Julien ( Auteur )
6. Liang Hong ( Auteur )

Nom complet :Friction
Nom abrégé :Friction
URL :www.springer.com/engineering/mechanical+engineering/journal/40544
ISSN (version papier) :2223-7690
Comité de lecture :Oui
Référencement Scopus :Non
Référencement Web Of Science :Non
Audience :Audience scientifique internationale

Titre de l'article :Spatial evolution of friction of a textured wafer surface
Type de l'extrait :Article
DOI :10.1007/s40544-013-0008-0
Volume :1
Page de début :92
Page de fin :97
Nombre total de pages :6